0 引 言
1 微沟道加工技术
2 微型气相色谱柱芯片柱内结构设计
3 微型气相色谱柱芯片衬底材料
3.1 硅/玻璃微型气相色谱柱芯片
3.2 全硅微型气相色谱柱芯片
3.3 金属微型气相色谱柱芯片
3.4 陶瓷微型气相色谱柱芯片
3.5 玻璃微型气相色谱柱芯片
3.6 聚合物微型气相色谱柱芯片
4 固定相的制备方法
4.1 化学气相沉积
4.2 物理气相沉积
5 总结与展望
文章摘要:微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速地定性和定量分析。微型气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一,决定了其分离性能的好坏。微机电系统（MEMS）技术的发展为制造微型气相色谱柱芯片提供了有效的加工技术、可灵活选择的衬底材料,甚至可以通过MEMS技术制备均匀的固定相,从而获得具有更好分离性能的微型气相色谱柱芯片。综述了近年来基于MEMS技术的微型气相色谱柱芯片的研究进展,内容主要涉及微型气相色谱柱芯片的微沟道加工技术、柱内结构、芯片衬底材料以及固定相的制备方法等方面。
文章关键词:
论文DOI:10.13873/J.1000-9787(2022)03-0001-06
论文分类号:TN40;TH833